機能水製造装置「酸還王シリーズ」
〜様々な用途に使える機能水を供給致します〜
- 1.10年以上の実績を誇る機能水製造装置「酸還王シリーズ」
- 酸還王Ｈ：水素水製造装置
酸還王Ｚ：オゾン水製造装置
酸還王Ｄ：脱気水製造装置
酸還王Ｇ：ガス溶解水装置 - 2.半導体、液晶、電子部品等の高度洗浄法の決定版！
- 酸還王Ｈ：微粒子除去（ＣＭＰ後洗浄、ガラス研磨後洗浄）、還元作用（Ｃｕ配線酸化抑制）
酸還王Ｚ：有機物除去、レジスト除去、Ｓｉウエハーの酸化膜作成
酸還王Ｄ：基板の酸化防止
酸還王Ｇ：半導体微細パターン倒れ予防効果
半導体製造、液晶・フラットパネル製造、電子部品向け
旧来の半導体・フラットパネル洗浄法であるＳＣ１・ＳＣ２洗浄法の代替が可能になります。
薬品洗浄コスト削減、熱エネルギーコストの削減に繋がり製造コストの飛躍的削減が可能になります。
