半導体や液晶をはじめ、各種電子部品の洗浄用の超純水は、電子技術の進歩とともに、いまでは超々純水と呼ばれるほど高い純度が要求されるようになりました。超純水の高純度化にあわせて、極微量の不純物を分析する技術も必要になります。オルガノは、分析技術を同時に開発し、お客様の要求を満たす超純水を提供しています。
超純水製造システムでの代表的なオルガノ製品群
超純水製造装置 標準型超純水ユニット ＭＰＵシリーズ
システム心臓部にＤ２ＥＤＩシステムを搭載。無薬品で高品質な超純水を供給します。
純水装置 高機能複床式純水製造装置 Strata-GXシリーズ
プロセス用水、洗浄用水、ボイラー給水として幅広い製造分野で活躍する2床3塔タイプの純水ユニットです。
新型電気再生式脱塩装置「Ｄ２ＥＤＩ」
従来型D2EDIの脱塩室構造はそのままに、濃縮室構造の最適化を実施した事によって、高い処理水性能を維持しつつ、EDI入口水の受入可能水質を拡大致しました。これにより前処理装置の削減が可能となり、大幅なコストダウンを実現します。
極微量金属除去システム「イオン吸着膜システム」
超純水中の不純物はもっと除去されるべきです。
超純水に要求される性能は、高水質でゆらぎのないことです。
イオン吸着膜システムを導入することで、サブｐｐｔレベルの微量金属不純物を除去して、水質のゆらぎのない高性能な超純水を供給することが可能となります。
