1.超純水中のサブpptレベルの微量不純物(金属など)の除去が可能です。
2.接触効率が高いため、高流速でも不純物の除去が可能です。
3.TOCや微粒子などの吐き出しがなく、クリーンです。
4.親水性メディアですので、親水化処理は不要です。
5.イオン交換容量が大きいので、高寿命です。
半導体製造分野の二次純水系統
超純水中の不純物はもっと除去されるべきです。
超純水に要求される性能は、高水質でゆらぎのないことです。
イオン吸着膜システムを導入することで、サブpptレベルの微量金属不純物を除去して、水質のゆらぎのない高性能な超純水を供給することが可能となります。