製品情報 Products information

電子産業向け

超純水製造システム

超純水製造装置 標準型超純水ユニット MPUシリーズ
特徴紹介

液晶・半導体・電子部品製造の洗浄工程など高品質の超純水が要求される分野で活躍する「前処理・一次純水システム・サブシステム」が一体となった超純水ユニットです。

1.自社開発の電気脱塩装置(D2EDI)を搭載
日本の水質の特徴に合せて自社開発した電気脱塩装置(D2EDI)を心臓部に搭載し、電気の力で水中のイオン分を除去します。

2.短納期・短工期を実現
標準化することで設計を大幅に短縮、ユニット製作化することで現地工事の簡素化、工期短縮を実現しました。

3.環境負荷を低減
電気の力でイオン交換樹脂の再生を行うため薬品使用量を大幅低減しました。また、効率的な熱回収を行い、環境負荷に配慮したシステムです。

MPUシリーズ
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適用分野

全産業(半導体、電気、化学、石油化学、食品、飲料、紙パルプ、自動車など)

標準フロー
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