超超純水を作り出す
半導体グレードのイオン交換樹脂。
ピューリックωにも
脈々と受け継がれる技術です。
常に技術革新を続ける超純水製造システムにおいて、ナノレベルの洗浄には、超純水より高度な「超超純水」が必要で、それを実現するのが半導体グレードのイオン交換樹脂です。
ピューリックωのイオン交換樹脂は、半導体グレードを使用しています。
ピューリックωに使用しているイオン交換樹脂は、金属の溶出を抑えるため製造時の合成段階より配慮して作られています。さらにオルガノ独自の精製技術により、クリーン化を実現しています。
金属、溶出物(TOC)、微粒子の溶出を極限まで抑えることに成功しました。
超純水抽出による金属溶出量の従来品との比較(従来品を100%とした場合の割合)
従来法で合成されたイオン交換樹脂には粒径にばらつきがありますが、ピューリックωに使用しているイオン交換樹脂は均一粒径。
圧力損失が小さくなり、安定した運転が可能です。
高純度が要求される電子産業用、発電所向けの超純水用途には、オルガノつくば工場において独自手法で精製したクリーンなイオン交換樹脂を提供しています。
ピューリックωに使用する樹脂も、つくば工場の専用ラインで精製。
精製後のイオン交換樹脂は微粒子が混入しないよう、ガスバリア性に配慮した特殊なラミネートポリ袋にて保管されています。